簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共7筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    以(hfac)CuI(COD)為先驅物之有機金屬化學氣相沉積銅膜的研究
    • /97/ 博士
    • 研究生: 陳昭慶 指導教授: 李嘉平
    • 本研究以先驅物(hfac)CuI(COD)在不同的TaNx阻障層上,利用化學氣相沉積法(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)進行沉積銅晶種層(Seed l…
    • 點閱:418下載:46

    2

    Development of ZnO:Ga Transparent Conducting Oxide Thin Films through Metalorganic Chemical Vapor Deposition using various Zn and Ga Source Materials
    • /101/ 博士
    • 研究生: 阮江南 指導教授: 洪儒生
    • The Ga doped-ZnO (GZO) thin film has been demonstrated to have low resistivity and high transparenc…
    • 點閱:269下載:4

    3

    以三甲基鎵/第三丁基聯胺之有機金屬化學氣相沉積系統合成直列式氮化鎵奈米線之研究
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 黃珮珊 指導教授: 洪儒生
    • 本研究利用有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)系統,透過「氣-液- 固」機制及使用金當催化劑,成功地在溫度700oC下分別在藍寶石(脉-Al2O3)、矽基板和氮化鎵上成長氮化鎵的奈米線。我們將氮源由…
    • 點閱:176下載:0
    • 全文公開日期 2015/07/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    4

    以第三丁基聯胺/三甲基鎵有機金屬化學氣相沉積系統在不同基材上成長氮化鎵一維奈米線之研究
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 曾士恩 指導教授: 洪儒生
    • 本研究利用有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)系統,將氮源由傳統MOCVD製程中所使用的氨氣(NH3)改為第三丁基聯胺(i-butylhydrazine, TBHy),來與三甲基鎵(trimethyl…
    • 點閱:192下載:3
    • 全文公開日期 2014/08/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    5

    有機金屬化學氣相沈積之先驅物CuII(OCHMeCH2NEt2)2 的合成改良及所成長銅膜的材料性質探討
    • /95/ 碩士
    • 研究生: 李明達 指導教授: 李嘉平
    • 本研究以有機金屬化合物CuII(OCHMeCH2NEt2)2為先驅物的化學氣相沈積系統探討金屬銅薄膜的材料分析。藉由調整沈積溫度及沈積時間,探討成長出高純度且具有良好之平坦度、緻密性、連續性及低電阻…
    • 點閱:173下載:5

    6

    以二甲基聯胺/三甲基銦/三乙基鎵有機金屬 化學氣相沉積系統低溫成長氮化銦鎵 一維奈米線之研究
    • /98/ 碩士
    • 研究生: Bernadeta Niken Kartika Dewi 指導教授: 洪儒生
    • 關鍵字;氮化銦鎵、奈米線、有機金屬化學氣相沉積 本研究選用在低溫即具有分解能力的聯胺系列化合物-二甲基聯胺(DMHy)來取代反應性低的氨氣(NH3),同時以分解溫度較低之鎵源-三乙基鎵(TEGa)…
    • 點閱:313下載:1
    • 全文公開日期 2015/07/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    7

    以二甲基聯胺與三乙基鎵有機金屬化學氣相沉積系統低溫成長氮化鎵一維奈米線之研究
    • /96/ 碩士
    • 研究生: 賴韋達 指導教授: 洪儒生
    • 本研究選用在低溫即具有分解能力的聯胺系列化合物-二甲基聯胺(DMHy)來取代反應性低的氨氣(NH3)作為氮源先驅物,同時以分解溫度較低之鎵源-三乙基鎵(TEGa),來成長氮化鎵奈米線,期望以TEGa…
    • 點閱:288下載:0
    1